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激光器
產(chǎn)品特點(diǎn):IXION 193 SLM激光器是一款單頻全固態(tài)激光系統,應用于光學(xué)計量、193 nm步進(jìn)光學(xué)校準或高功率ArF準分子的帶寬控制等領(lǐng)域。光譜帶寬接近其理論傅里葉極限。
廠(chǎng)商性質(zhì):生產(chǎn)廠(chǎng)家
更新時(shí)間:2024-07-09
產(chǎn)品型號:IXION 193 SLM
訪(fǎng)問(wèn)量:873
IXION 193 SLM激光器的詳細資料:
IXION 193 SLM激光器是一款單頻全固態(tài)激光系統,應用于光學(xué)計量、193 nm步進(jìn)光學(xué)校準或高功率ArF準分子的帶寬控制等領(lǐng)域。光譜帶寬接近其理論傅里葉極限。
該系統的中心波長(cháng)可定制,范圍在185至194 nm之間,并可在訂購時(shí)配置為固定波長(cháng)。
另外,系統還可以集成一臺絕對光譜精度為0.001 nm的高精度光譜儀。這使得對激光光譜調諧的控制具有最大的精度。
可選
圖形用戶(hù)界面
LabView庫
精密光譜儀
中心波長(cháng):185 ~ 194 nm
符合CDRH的快門(mén)
IXION 193 SLM 激光器應用
193 nm 計量
光譜儀校準
干涉度量
準分子種子源
IXION 193 SLM
波長(cháng) | 193.368 nm |
平均功率 | 10 mW |
脈寬 | typ.8~2ns |
脈沖能量 | 1.6 µJ |
重頻 | 1~15 kHz |
光束質(zhì)量 | M2 < 1.6 |
光譜帶寬 | < 80 MHz |
光譜可調諧性 | > 10 pm |
相干長(cháng)度 | > 2 m |
脈沖穩定性 | σ < 2.5 % |
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